臺(tái)式掃描電子顯微鏡的工作原理基于電子與物質(zhì)的相互作用。電子槍發(fā)射出的電子束經(jīng)過電磁透鏡聚焦后，成為細(xì)的電子束，該電子束按順序逐點(diǎn)轟擊樣品表面，激發(fā)樣品表面產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號，這些信號被探測器收集并轉(zhuǎn)換為電信號，在顯示屏上形成樣品表面的高分辨率圖像。
臺(tái)式掃描電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)：
-電子光學(xué)系統(tǒng)：包括電子槍、電磁透鏡和樣品室等部件。電子槍用于產(chǎn)生和形成電子束，電磁透鏡則負(fù)責(zé)將電子束聚焦并控制其掃描范圍，樣品室用于放置和觀察樣品。
-真空系統(tǒng)：為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作，需要維持樣品室的高真空狀態(tài)。這通常通過機(jī)械泵和分子泵等設(shè)備實(shí)現(xiàn)。
-信號處理系統(tǒng)：包括探測器和信號放大器等部件。探測器用于收集樣品表面產(chǎn)生的各種信號，信號放大器則將這些信號放大并轉(zhuǎn)換為便于處理和顯示的電信號。
-顯示系統(tǒng)：將處理后的信號轉(zhuǎn)換為圖像并顯示出來，通常使用計(jì)算機(jī)顯示器作為顯示設(shè)備。
臺(tái)式掃描電子顯微鏡的特點(diǎn)：
-體積小巧，可安放在實(shí)驗(yàn)臺(tái)面上操作，便于移動(dòng)和攜帶，適合在不同實(shí)驗(yàn)室或現(xiàn)場使用。
-相較于大型掃描電子顯微鏡，操作更加簡便。它通常配備有直觀的用戶界面和自動(dòng)化控制系統(tǒng)，使得用戶能夠輕松地進(jìn)行觀測和分析。
-盡管體積小巧，但仍然能夠提供高分辨率的圖像。這使得它能夠清晰地觀察到樣品表面的微小細(xì)節(jié)和特征。
-由于結(jié)構(gòu)相對簡單且緊湊，因此其維護(hù)成本相對較低。同時(shí)，許多臺(tái)式掃描電子顯微鏡還配備了長壽命的部件和耗材，進(jìn)一步降低了維護(hù)成本。
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